化学真空气相沉积（繁：積）机 请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？

请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术

请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？

原澳门博彩理【练：lǐ】

化学(繁：學)气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学反应并产生{读：shēng}固态沉积物的一种工艺，它大致（繁体：緻）包含三步：

（1）形成挥发【fā】性物质 ；

（2）把上{读：shàng}述物质转移至沉积区域 ；

（3）在固体上产生化学[繁体：學]反应并产生固态物质 。

最基本的化学气澳门金沙相沉积反应包括热分解jiě 反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。 [1]

特点（开云体育繁：點）

1）在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间澳门银河的气相化学反应而形成固体物质沉chén 积在基体上。

2）可以在常压或者真空条件下#28负压“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。

3）采用等离子《拼音：zi》和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积(繁：積)可在较低的温度下进行。

4）涂层的化《练：huà》学成分（pinyin：fēn）可以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度沉积物或者得到混{hùn}合镀层。

5）可以控制涂《繁：塗》层的密度和涂层纯度。

6）绕镀件好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状(繁体：狀)的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚（pinyin：shén）至是盲孔的工件。

7）沉积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯曲，但可通过各种澳门新葡京技术对化学反应进行气相扰动，以改善《拼音：shàn》其结构。

8）可以通过各种反fǎn 应形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。

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