请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术
请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。原理（读：lǐ）
化学气相沉积技术是应用气态物wù 质在固体上阐述化学反应并产生固态沉积物的一娱乐城种工艺，它大致包含三步：
（1）形（澳门新葡京练：xíng）成挥发性物质 ；
（2）把上述物{pinyin：wù}质转移至沉积区域 ；
（3）在固体上产生化学反应澳门新葡京并产生固态物质《繁体：質》 。
最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。 [1]
特澳门威尼斯人《拼音：tè》点
1）在中[拼音：zhōng]温或高温下，通过气态的初(chū)始化合物之间的气相化学反应而形成固体[tǐ]物质沉积在基体上。
澳门金沙2）可以在常压或者真（练：zhēn）空条件下#28负压“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。
3）采用等离{繁：離}子和激光辅助技术可以显著地促进化（拼音：huà）学反应，使沉[pinyin：chén]积可在较低的温度下进行。
4）涂《繁体：塗》层的化学成分可以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度[拼音：dù]沉积物或者得到混合镀层(céng)。
5）可以控制涂层的密度和涂(tú)层纯度。
6）绕镀件好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带（读：dài）有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工[读：gōng]件。
7）沉积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯[wān]曲，但可通过各种技术对化学反应进行[读：xíng]气相扰动，以改善其结构。
8）可（拼音：kě）以通过各种反应形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。
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