化学气相沉积技术优点化学气相(pinyin：xiāng)沉积的特点？

化学气相沉积的特点？化学气相沉积过程中有化学反应，多种材料相互反应，生成新的的材料。物理气相沉积中没有化学反应，材料只是形态有改变。物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强

化学气相沉积的特点？

化学气相沉积过程中有化学反应，多种材料相互反应，生成新的的材料。物理气相沉积中没有化学反应，材料只是形态有改变。物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。缺点膜一基结合力弱，镀膜不耐磨，并有方向性化学杂质难以去除。优点可造金属膜、非金属膜，又可按要求制造多成分的合金膜，成膜速度快，膜的绕射性好

请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。

原理[pinyin：lǐ]

化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学反应并产{pinyin：chǎ幸运飞艇n}生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：

（1）形成挥发性物质；

（2）把上述物wù 质转移至沉积区域；

（3）在固体上产生化学反应并{pinyin：bìng}产生固态物质。

最基本的化学气相沉积反应包开云体育括热（读：rè）分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。 [1]

澳门永利特(pinyin：tè)点

1）在中温或高温下，通过气（繁体：氣）态的初始化合物之间的气相{练：xiāng}化学反[pinyin：fǎn]应而形成固体物质沉积在基体上。

2）可以世界杯在常压或者真空条件下#28负压“进行沉积、通常{读：cháng}真空沉积膜层质量较好）。

3）采用等离子zi 和激光辅助技术可以显著地促进{练：jìn}化学反应，使沉积可在较低的温度下进行。